- 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話(huà)，可以
- 產(chǎn)品名稱(chēng)：晶圓腐蝕爐
- 產(chǎn)品型號(hào)：YY-碳化硅腐蝕爐
- 產(chǎn)品展商：燕園科技
- 產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
用于硅片邊緣LTO的腐蝕去除，以便外延片的生長(zhǎng)。
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品規(guī)格：
1、適用范圍：8寸/12寸硅片
2、產(chǎn)能：批次腐蝕，每批次25片，產(chǎn)能依據(jù)腐蝕厚度
3、搬運(yùn)方式：PFA cassette/手動(dòng)